極小部位の形状と元素を分析する
形態観察分析サービス
形態観察分析サービスでは、走査電子顕微鏡(SEM/FE-SEM)を用いて、試料形態観察を行います。また、エネルギー分散型X線装置(EDS)を併用することで、表面での形状・凹凸状態の確認だけではなく、試料対象部の元素分析を行うことができます。
- 検査日数
- 2週間 (相談可)
- 分析方法
- お問合せフォームにてご相談ください。
よくある分析要望 Case study
- コネクタなどの部材形状を拡大観察したい
- パワーデバイスなど異種材料の接合状態を観察したい
- 部材の素材切断面を観察したい
- 素材に発生した錆、クラックなどの異変を観察したい
- 溶接状態を確認したい
- レジストパターンの表面形態確認
- 電子部品表面・断面の元素組成分布確認
サービスの特徴 Feature
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二次電子像観察
試料の凹凸や表面の形状観察が可能です。
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反射電子像観察
試料の元素組成差の観察が可能です。
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EDS元素分析
X線を試料に照射した際に発生する蛍光X線を検出・分光することで元素定性が可能です。
上記電子像と組み合わせることで、試料特定部の元素定性を行うことができます。 -
蛍光Ｘ線マッピング分析
試料中に含まれる元素分布を視覚的に観察することが可能です。
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SEM-EDS装置 -
SEM-EDS装置 -
前処理 -
溶剤抽出
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分析例 Analysis example
ソルダーレジストの
穴型形状を解析
露光装置によりパターニングしたレジストの穴型形状、大きさを確認するために、走査電子顕微鏡を用いた2次電子像観察を行いました。
また穴の内部形状を確認するため、斜視解析を行いました。
画像解析結果から、レジストパターンが正常であることが確認できたとのフィードバックを頂きました。
【穴の形状を確認】
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電子像 Φ50μｍ(×1500) -
電子像 Φ75μm(×1000)
走査電子顕微鏡を用いた
炭酸カルシウムの結晶構造解析
様々な種類の炭酸カルシウムについて、走査電子顕微鏡を用いた2次電子像観察を行いました。
電子像解析から、結晶構造の違いを確認することが出来ます。
また結晶の大きさについても、同時に解析することが可能です。
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炭酸カルシウム①(×2000) -
炭酸カルシウム①(×4000) -
炭酸カルシウム②(×1000) -
炭酸カルシウム②(×2000)
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炭酸カルシウム③(×2000) -
炭酸カルシウム③(×4000) -
炭酸カルシウム④(×2000) -
炭酸カルシウム④(×4000)